โมดูลวัดการไหลแบบมวลความร้อน พร้อมเอาต์พุตแบบดิจิทัลและอนาล็อกที่ปรับเทียบเป็นเส้นตรง

โมดูลวัดการไหลที่รวดเร็วและกะทัดรัด เหมาะสำหรับระบบจ่ายก๊าซ, ท่อร่วม, และเครื่องวิเคราะห์ต่าง ๆ ออกแบบให้ติดตั้งง่ายด้วยขนาดที่กะทัดรัด ปรับเทียบจากโรงงาน พร้อมขาต่อสำหรับตั้งค่าที่อยู่ของฮาร์ดแวร์

อินเทอร์เฟซแบบของไหลที่เข้ากันได้กับเครื่องวัดการไหลแบบมวลสำหรับ OEM (Axetris MFM 2020, MFM 2021, MFM 2xxx)

ชื่อผลิตภัณฑ์: SFS01-M-01-00050

ช่วงการไหลที่ใช้งาน: +/-50 sccm (มล./นาที)

สื่อที่วัดได้: การไหลของก๊าซ

ช่วงอุณหภูมิในการทำงาน: 0 ถึง 80 °C

ขนาดตัวเรือน: 48 x 34 x 14.5 มม.

วัสดุของตัวเรือน: อะลูมิเนียม, FR4

การเชื่อมต่อของไหล: Ø 2.2 มม. ปะเก็นแบน

วัสดุที่สัมผัสกับของไหล: อะลูมิเนียม, ทอง, FR4, ซิลิคอน, ไนไตรด์ซิลิคอน, อีพ็อกซี่, ไนไตรล์

ประเภทการเชื่อมต่อ: ขั้วต่อ PCB รุ่น JST SM08B-SRSS-TB

เวลาตอบสนอง t63: 20 มิลลิวินาที

น้ำหนัก: 30 กรัม

แรงดันไฟฟ้าขณะจ่าย: 5V DC +/-5%

สัญญาณเอาต์พุต: I2C หรือ 0 ถึง 1 โวลต์

ความแม่นยำ: 2% f.s. (สัญญาณดิจิทัล)

ความสามารถในการทำซ้ำ: 0.2% f.s.

รหัสสินค้า: 154809