โมดูลการไหลของมวลแบบความร้อนที่มีเอาต์พุตดิจิทัล/อะนาล็อกที่เป็นเส้นตรง

โมดูลการไหลที่รวดเร็วและกะทัดรัด เหมาะสำหรับระบบการจ่ายก๊าซ, manifold และเครื่องวิเคราะห์ ต่าง ๆ มีการออกแบบที่กะทัดรัดทำให้การรวมเข้ากับระบบทำได้ง่าย พร้อมการสอบเทียบจากโรงงานและขาเพื่อตั้งค่าที่อยู่ฮาร์ดแวร์

มีการเชื่อมต่อทางไหลที่เข้ากันได้กับเครื่องวัดการไหลของมวล OEM (Axetris MFM 2020, MFM 2021, MFM 2xxx)

ชื่อผลิตภัณฑ์: SFS01-M-00200-N2

ช่วงการไหลที่ใช้งาน: +/-200 sccm (ml/min)

สื่อที่วัด: การไหลของก๊าซ

ช่วงอุณหภูมิที่ใช้งาน: 0 ถึง 80 °C

ขนาดตัวเรือน: 48 x 34 x 14.5 mm

วัสดุตัวเรือน: อลูมิเนียม, FR4

การเชื่อมต่อทางไหล: Ø 2.2 mm i.D. แผ่นปิดแนบ

วัสดุที่สัมผัส: อลูมิเนียม, ทอง, FR4, ซิลิคอน, ซิลิคอนไนไตรด์, อีพ็อกซี่, ไนไตรล์

ประเภทการเชื่อมต่อ: PCB connector JST SM08B-SRSS-TB

เวลาตอบสนอง t63: 20 ms

น้ำหนัก: 30 g

แรงดันไฟฟ้าจ่าย: 5V DC +/-5%

สัญญาณเอาต์พุต: I2C หรือ 0 ถึง 1 V

ความแม่นยำ: 2% f.s. (เอาต์พุตดิจิทัล)

ความสามารถในการทำซ้ำ: 0.2 % f.s.

รหัสผลิตภัณฑ์: 154808